氦示踪气体用于几种泄漏测试应用。它有一个小的原子尺寸，允许气体通过难以置信的小泄漏，也是无毒和不可燃。示踪气体泄漏检测的一种常用方法是硬真空测试，这涉及到利用真空室和示踪气体检测微泄漏。
该方法采用便携式泄漏检测系统，包括:
- 真空室真空室或真空装置
- 用于从部件和/或腔室中排出大气的泵
- 一种质谱仪，用于测量部件内部或周围的氦的质量
- 对于附加功能，可以添加嗅探棒用于泄漏位置
使用氦硬真空测试低泄漏率的好处
硬真空氦泄漏测试是所有示踪气体泄漏检测系统中最准确和最有效的，用于生产泄漏测试，以测试泄漏率非常低(非常小)的部件。与其他示踪气体泄漏检测方法相比，它具有更好的重复性，提供更短的循环时间，并且不太容易受温度和其他外部环境因素的影响。使用真空泄漏测试方法提供的好处包括:
- 极高的灵敏度检测泄漏高达1 x 10-8 scc/s
- 重复性好，周期快
- 非常高的泄漏检测精度，减少假泄漏故障
氦硬真空测试为测试一系列部件提供可靠的结果，包括传感器，外壳，医疗设备，密封组件，电气外壳，暖通空调和制冷组件，等等。可以对系统进行配置，以匹配几乎任何测试应用程序的复杂性，并适应手动或自动加载。
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真空氦泄漏测试提供了高水平的准确性
真空氦泄漏测试可以使用“由内而外”或“由外而内”的方法进行。在由内而外的真空泄漏测试中，将部件置于密封腔内并固定。然后用真空泵将所有的空气从腔室和部件中除去。达到足够的真空后，测试周期开始。质谱仪用于样品室的氦气，而部分充满氦气测试压力规格。当部件充满时，质谱仪会连续取样从部件中逸出的示踪气体，分析氦分子流动与测试的拒绝设定点的对比。如果氦的测量值超过了不合格规格，则该部件不通过泄漏测试。
的由外到内的硬真空测试是在腔室外进行的，包括疏散部件和在外部喷洒氦气。如果有泄漏，气体会流到部件内部，被质谱仪检测到，导致部件不能通过泄漏测试。
这两种方法都提供了类似的好处，但由内至外的硬真空测试可以提供更高水平的灵敏度，并减少了人为错误的机会，因为测试过程是自动化的。这使得它成为航天和其他要求更高精度的应用的理想选择。然而，成本也是一个考虑因素，因为它比用嗅探棒进行的由外而内的方法需要更多的设备。
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