硬真空氦检漏系统

氦气示踪剂用于几种泄漏测试应用。它的原子尺寸很小，可以让气体通过极小的泄漏点，而且无毒、不易燃。示踪气体泄漏检测的一种常用方法是硬真空测试，它涉及到使用真空室和示踪气体来检测微泄漏。

这种方法使用一个便携式泄漏检测系统，包括:

• 真空室真空室或真空装置
• 从部件和(或)腔中抽出空气的泵
• 一种质谱仪，用来测量零件内部或周围氦的质量
• 对于额外的功能，可以添加嗅探棒来确定泄漏位置

低泄漏率使用氦硬真空测试的好处

硬真空氦气泄漏检测是所有示踪气体泄漏检测系统中最准确和高效的，用于生产泄漏测试，测试泄漏率非常低(非常小)的部件。它提供了比其他示踪气体泄漏检测方法更好的重复性，提供更短的周期，并且不容易受温度和其他外部环境因素的影响。

使用真空泄漏测试方法的好处包括:

• 极高的灵敏度检测泄漏高达1×10-8 scc/s
• 重复性高，循环时间快
• 极高的泄漏检测精度减少了假泄漏故障

氦硬真空测试为测试一系列部件提供可靠的结果，包括传感器、外壳、医疗设备、密封组件、电气外壳、HVAC和制冷组件等。系统可以配置为与几乎任何测试应用程序的复杂性相匹配，并适应手动或自动加载。

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真空氦泄漏测试提供了高水平的精度

可以使用“由内到外”或“由外到内”的方法进行真空氦泄漏测试。在一个由内到外的真空泄漏测试中，一个部件被放置在一个密封室中并固定。然后用真空泵将所有的大气从腔室和部件中除去。达到足够的真空后，测试周期开始。

质谱仪用于对氦腔进行取样，当部件充满氦时测试压力规格。当零件填充时，质谱计连续取样，检测从零件中逸出的示踪气体，分析氦分子流，并与测试的废设定点进行比较。如果氦气测量值超过了废液规格，则该部件检漏失败。

的由外至内硬真空测试是在腔室外进行的，包括将部件抽离并在外部周围喷射氦气。如果有任何泄漏，气体会流向部件内部，并被质谱仪检测到，导致部件泄漏测试失败。

这两种方法都有相似的优点，但是由内到外的硬真空测试可以提供更高的灵敏度，并且由于测试过程是自动化的，因此减少了人为错误的机会。这使得它成为需要更高精度的航空航天和其他应用的理想选择。然而，成本也是一个考虑因素，因为与使用嗅探棒执行的由外而内的方法相比，它需要更多的设备。

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