即使泄漏很小，也会对部件或组件的性能产生重大影响，或导致设备故障。裂缝和有缺陷的密封件往往是这些泄漏的原因，但它们通常可以通过在制造前对部件进行真空测试来检测。
真空泄漏测试是主要的泄漏测试方法，用于测试可能从外部源泄漏到其外壳和外壳的密封部件。主要的真空泄漏测试程序包括:
- 水下传感器或外壳
- 室外电气外壳
- 密封组件
- 与真空源相关的组件
真空泄漏测试和压力衰减测试有区别吗?
在真空泄漏测试过程中，被测试的部件或容器(试件)连接到压力/真空管道，并放置在测试室中。腔室关闭并密封，所有供应阀关闭，试件和腔室同时通过真空抽真空到预先设定的压力水平。一旦压力稳定下来，试件内的任何压力变化都要与腔室参考体积内的压力变化进行比较。如果测试件确实泄漏，两者之间的压差将会增加。这些数据是测量和记录的。真空检漏的功能类似，但本质上相反，如压力衰减测试．例如，在压力衰减测试期间，对测试室加压，并监测测试室的压力下降，以表明从腔室泄漏到部件。然而，在真空衰变中，被测试的部件被加压，测试室被监测压力的增加，表明从部件泄漏到腔室。
相比压力衰减测试，真空泄漏测试可以提供更好的重复性，因为它对由温度变化产生的环境变量不太敏感。真空检漏仪通常需要更少的时间来达到稳定的测试压力，更不容易受测试部件的潜在不稳定性的影响，在许多压力衰减应用中提供比测试更短的周期时间。
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